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单晶硅化学机械抛光划痕演变研究
夏菁菁 Xia Jingjing、余俊 Yu Jun、王占山 Wang Zhanshan、陆斯文 Lu Siwen
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 3
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引用本文（GB/T 7714）
夏菁菁 Xia Jingjing, 余俊 Yu Jun, 王占山 Wang Zhanshan, 等. 单晶硅化学机械抛光划痕演变研究[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.0912002
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