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面向IC光刻的超精密运动台控制技术
刘杨 Liu Yang、李理 Li Li、陈思文 Chen Siwen、谭久彬 Tan Jiubin
2022Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
刘杨 Liu Yang, 李理 Li Li, 陈思文 Chen Siwen, 等. 面向IC光刻的超精密运动台控制技术[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0922013
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