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先进光刻技术的发展历程与最新进展
李艳丽 Li Yanli、刘显和 Liu Xianhe、伍强 Wu Qiang
2022Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 16
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引用本文（GB/T 7714）
李艳丽 Li Yanli, 刘显和 Liu Xianhe, 伍强 Wu Qiang. 先进光刻技术的发展历程与最新进展[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0922006
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