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芯片制造语境下的计算光刻技术
施伟杰 Shi Weijie、俞宗强 Yu Zongqiang、蒋俊海 Jiang Junhai、车永强 Che Yongqiang、李思坤 Li Sikun
2022Laser & Optoelectronics Progress被引 5
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引用本文（GB/T 7714）
施伟杰 Shi Weijie, 俞宗强 Yu Zongqiang, 蒋俊海 Jiang Junhai, 等. 芯片制造语境下的计算光刻技术[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0922001
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