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基于深度优先搜索的全芯片光源掩模优化关键图形筛选方法
杨欣华 Yang Xinhua、李思坤 Li Sikun、廖陆峰 Liao Lufeng、张利斌 Zhang Libin、张双 Zhang Shuang、张生睿 Zhang Shengrui、施伟杰 Shi Weijie、韦亚一 Wei Yayi
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
杨欣华 Yang Xinhua, 李思坤 Li Sikun, 廖陆峰 Liao Lufeng, 等. 基于深度优先搜索的全芯片光源掩模优化关键图形筛选方法[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.1022002
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