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极紫外-真空紫外薄膜光学元件研究
齐润泽 Qi Runze、张锦龙 Zhang Jinlong、吴佳莉 Wu Jiali、李双莹 Li Shuangying、黄秋实 Huang Qiushi、张众 Zhang Zhong、王占山 Wang Zhanshan
2022Acta Optica SinicaEngineering被引 5
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引用本文（GB/T 7714）
齐润泽 Qi Runze, 张锦龙 Zhang Jinlong, 吴佳莉 Wu Jiali, 等. 极紫外-真空紫外薄膜光学元件研究[J]. Acta Optica Sinica, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202242.1134003
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