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基于空间光调制器的并行微纳光刻技术研究进展
匡珺洁 Kuang Junjie、罗宁宁 Luo Ningning、张静雅 Zhang Jingya、王岩磊 Wang Yanlei、熊鑫 Xiong Xin、孟庆旺 Meng Qingwang
2022Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 7
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引用本文（GB/T 7714）
匡珺洁 Kuang Junjie, 罗宁宁 Luo Ningning, 张静雅 Zhang Jingya, 等. 基于空间光调制器的并行微纳光刻技术研究进展[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.1100009
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