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光刻投影物镜中动镜X-Y向柔性调节机构设计
杨超 Yang Chao、朱咸昌 Zhu Xianchang、金川 Jin Chuan、胡松 Hu Song
2022Laser & Optoelectronics ProgressEngineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
杨超 Yang Chao, 朱咸昌 Zhu Xianchang, 金川 Jin Chuan, 等. 光刻投影物镜中动镜X-Y向柔性调节机构设计[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/lop202259.0411002
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