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极紫外多层膜技术的研究进展
李超逸 Chao-yi LI、陶保全 Bao-quan TAO、郭祥帅 Xiang-shuai GUO、匡尚奇 Shang-qi KUANG
2020Acta Sinica Quantum Optica被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
李超逸 Chao-yi LI, 陶保全 Bao-quan TAO, 郭祥帅 Xiang-shuai GUO, 等. 极紫外多层膜技术的研究进展[J]. Acta Sinica Quantum Optica, 2020.
DOI：https://doi.org/10.3788/jqo20202604.1001
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