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超导量子比特中铝超导隧道结的性能

俊杰 常、国柱 孙、争鸣 吉、伟伟 许、健 陈、丹丹 沈、春海 曹、冉 朱

2011Chinese Science Bulletin (Chinese Version)Engineering被引 1开放获取

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摘要

超导隧道结约瑟夫森结是超导量子比特的基本元件. 用双层光刻胶构成悬空掩模,用电子束斜蒸发的方法制备Al/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/Al 隧道结, 用一定的氧气气压氧化铝膜作为势垒层.势垒层质量直接影响铝超导隧道结的各项电学参数. 深入研究了铝超导隧道结的超导临界电流密度<italic>J<sub>c</sub></italic>和面积归一化电阻<italic>R<sub>c</sub></italic>(正常态电阻<italic>R<sub>N</sub></italic>与结面积的乘积)与势垒层生长条件的关系,通过改变势垒层生长的氧分压与氧化时间来控制铝超导隧道结的<italic>J<sub>c</sub></italic> 和<italic>R<sub>c</sub></italic>, 以使此工艺所制备的铝隧道结漏电流小, 结参数易于控制, 满足制备超导量子比特的要求.

引用本文（GB/T 7714）

俊杰 常, 国柱 孙, 争鸣 吉, 等. 超导量子比特中铝超导隧道结的性能[J]. Chinese Science Bulletin (Chinese Version), 2011.

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DOI：https://doi.org/10.1360/csb2011-56-34-2923

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