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半導体集積回路製造工程へのガスプラズマの応用
阿部 東彦、松井 肇、園部 幸夫、榎本 龍弥、出水 清史
1973Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri KagakuEngineering被引 3开放获取
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引用本文（GB/T 7714）
阿部 東彦, 松井 肇, 園部 幸夫, 等. 半導体集積回路製造工程へのガスプラズマの応用[J]. Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku, 1973.
DOI：https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.41.544
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