纳米硅薄膜的压阻效应
摘要
固体纳米材料已被认为是当前极有发展前景的一种人工功能材料.许多先进国家皆已把它列为21世纪重大课题而给予重视.我们使用了常规的PECVD薄膜沉积技术已成功地制备出具有纳米相结构的硅薄膜(nc-Si:H).由于纳米硅膜是由占体积百分比X_c≈50%的细微晶粒(<italic>d</italic>=3～5nm)及X_I≈50%的晶粒界面所组成,已发现大量界面组织的存在对nc-Si:H膜的结构和物性产生重要的作用.业已观测到,nc-Si:H膜中的界面是由细微晶粒的无规排列
引用本文（GB/T 7714）
鸿溢 林, 珩 王, 旭辉 武, 等. 纳米硅薄膜的压阻效应[J]. Chinese Science Bulletin (Chinese Version), 1995.
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