利用离子束技术原位制备高温超导薄膜
摘要
超导薄膜是高温超导材料弱电应用的关键技术. 目前磁控溅射(包括直流和射频)和激光淀积方法已被广泛应用获得高温超导薄膜. 相比这两种常用制膜方法,离子束溅射(IBS)具有独特优势. IBS工作气压很低,靶与衬底间不存在外加电场,减少了薄膜中杂质,消除了普通等离子体溅射方法中负离子反溅射有害效应. 同时也不存在激光淀积薄膜均匀性差、薄膜中颗粒较大等缺点,是一种很有发展前途的制膜手段. 利用离子束技术后退火制备性能较好的
引用本文（GB/T 7714）
建华 郝. 利用离子束技术原位制备高温超导薄膜[J]. Chinese Science Bulletin (Chinese Version), 1993.
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