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短脉冲红外激光诱导等离子体微刻蚀单晶高温高压金刚石

卢希钊 LU Xizhao陈嘉林 CHEN Jialin温秋玲 WEN Qiuling陆静 LU JingFeng Jiang

2021ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 2

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引用本文(GB/T 7714)

卢希钊 LU Xizhao, 陈嘉林 CHEN Jialin, 温秋玲 WEN Qiuling, 等. 短脉冲红外激光诱导等离子体微刻蚀单晶高温高压金刚石[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2021.

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DOI:https://doi.org/10.3788/gzxb20215006.0650114

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