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基于超分辨率图像重建的在线相位测量轮廓术
高杰 GAO Jie、曹益平 Cao Yiping、陈锦 CHEN Jin
2021ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
高杰 GAO Jie, 曹益平 Cao Yiping, 陈锦 CHEN Jin. 基于超分辨率图像重建的在线相位测量轮廓术[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2021.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20215007.0712003
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