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基于叠层衍射成像的傅里叶叠层显微像差校正方法
张瑾华 Zhang Jinhua、张继洲 Zhang Jizhou、李佳男 Li Jianan、李杰 Li Jie、陈毅文 Chen Yiwen、汪心 Wang Xin、王舒珊 Wang Shushan、许廷发 Xu Ting-fa
2021Acta Optica SinicaEngineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
张瑾华 Zhang Jinhua, 张继洲 Zhang Jizhou, 李佳男 Li Jianan, 等. 基于叠层衍射成像的傅里叶叠层显微像差校正方法[J]. Acta Optica Sinica, 2021.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202141.1011001
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