SiO2气凝胶薄膜常压制备与强化研究

WU Guang-ming、Lu Hongyan、Wang Yu、Shen Jun、Zhou Bin、Zhang Qin-Yuan、Deng Zhong-Sheng、同济大学波耳固体物理研究所,上海200092

2002Acta Physica SinicaEconomics, Econometrics and Finance被引 3开放获取

摘要

Ｓｃｒａｔｃｈｒｅｓｉｓｔａｎｔｓｉｌｉｃａａｅｒｏｇｅｌｆｉｌｍｓｗｉｔｈａ 77%ｐｏｒｏｓｉｔｙａｎｄ 1 . 1 2ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘａｔａｍｂｉｅｎｔｐｒｅｓｓｕｒｅｉｓｒｅｐｏｒｔｅｄｕｓｉｎｇｔｈｅｅｘｃｈａｎｇｅｏｆｓｏｌｖｅｎｔａｎｄｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎｏｆ—ＣＨ3 ｇｒｏｕｐ.Ｔｈｅｓｉｌｉｃａｆｉｌｍｓｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｉｎａｓｏｌｇｅｌｐｒｏｃｅｓｓｂｙａｄｉｐｃｏａｔｉｎｇｍｅｔｈｏｄ ,ａｎｄｔｈｅｎｗｅｒｅｐｏｓｔａｎｎｅａｌｅｄｉｎａｉｒａｎｄａｍｉｘｅｄｇａｓａｔｍｏｓｐｈｅｒｅ.Ｔｈｅｆｉｌｍｓｗｅｒｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄｗｉｔｈｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ,ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ,ＦｏｕｒｉｅｒＴｒａｎｓｆｏｒｍｉｎｆｒａｒｅｄｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｅ,ａｎｅｌｌｉｐｓｏｍｅｔｅｒ,ａｎｄｔｈｅａｂｒａｓｉｏｎｔｅｓｔ,ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ.Ｗｉｔｈｔｈｅｐｏｓｔａｎｎｅａｌｉｎｇ,ｔｈｅｆｒｅｑｕｅｎｃｙｓｈｉｆｔｏｆＦＴＩＲａｂｓｏｒｐｔｉｏｎω4(ＴＯ3 )ｐｅａｋｏｆｔｈｅｆｉｌｍｓｔｏａｌｏｗｅｒｗａｖｅｎｕｍｂｅｒｒｅｓｕｌｔｓｆｒｏｍａｄｅｃｒｅａｓｅｉｎｔｈｅａｖｅｒａｇｅＳｉ—Ｏ—Ｓｉｂｒｉｄｇｉｎｇａｎｇｌｅ.Ａｎｉｎｃｒｅａｓｅｉｎｔｈｅｆｕｌｌｗｉｄｔｈａｔｈａｌｆｍａｘｉｍｕｍ (ＦＷＨＭ)ｏｆｔｈｅω4ｐｅａｋｉｓａｓｃｒｉｂｅｄｔｏａｗｉｄｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｏｆｔｈｅｂｒｉｄｇｉｎｇａｎｇｌｅｂｅｃａｕｓｅｏｆｔｈｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｓｔｒａｉｎｅｄＳｉ—Ｏ—Ｓｉｂｏｎｄｓｃａｕｓｅｄｂｙｔｈｅｐｏｓｔａｎｎｅａｌｉｎｇ.Ｔｈｅａｂｒａｓｉｏｎａｎｄａｄｈｅｓｉｏｎｔｅｓｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｔｈａｔｔｈｅｍｉｘｅｄｇａｓｔｒｅａｔｍｅｎｔｎｏｔｉｃｅａｂｌｙｓｔｒｅｎｇｔｈｅｎｓｔｈｅｓｉｌｉｃａｎｅｔｗｏｒｋ .ＴｈｅｉｎｃｒｅａｓｅｉｎｓｔｒｅｎｇｔｈｉｓａｔｔｒｉｂｕｔｅｄｔｏｍｏｒｅＳｉ—Ｏ—Ｓｉｂｏｎｄｃｒｏｓｓｌｉｎｋａｇｅｓｂｅｔｗｅｅｎｓｉｌｉｃａｐａｒｔｉｃｌｅｓｆｏｒｍｅｄｂｙｔｈｅｍｉｘｅｄｇａｓｔｒｅａｔｍｅｎｔ.

引用本文（GB/T 7714）

WU Guang-ming, Lu Hongyan, Wang Yu, 等. SiO2气凝胶薄膜常压制备与强化研究[J]. Acta Physica Sinica, 2002.

引文网络

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DOI：https://doi.org/10.7498/aps.51.104

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