首页 / 资料库 / 文献详情
脉冲直流溅射Zr薄膜的微结构和应力研究
朱京涛 Zhu Jingtao、郭胜 Guo Sheng、赵娇玲 Zhao Jiaoling、张嘉怡 Zhang Jiayi、朱航宇 Zhu Hangyu、邵建达 Shao Jianda
2021Acta Optica SinicaEngineering被引 1
摘要
该文献暂无收录摘要。
引用本文（GB/T 7714）
朱京涛 Zhu Jingtao, 郭胜 Guo Sheng, 赵娇玲 Zhao Jiaoling, 等. 脉冲直流溅射Zr薄膜的微结构和应力研究[J]. Acta Optica Sinica, 2021.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202141.1831001
本站仅收录题录与摘要供学习参考，全文版权归属出版方；如有侵权请联系我们删除。