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32 nm及其以下技术节点CMOS技术中的新工艺及新结构器件
晓彦 刘、兴 张、晋锋 康、如 黄、阳元 王
2008Science in China Series F-Information Sciences (in Chinese)Engineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
晓彦 刘, 兴 张, 晋锋 康, 等. 32 nm及其以下技术节点CMOS技术中的新工艺及新结构器件[J]. Science in China Series F-Information Sciences (in Chinese), 2008.
DOI：https://doi.org/10.1360/zf2008-38-6-921
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