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立方氮化硼薄膜的脉冲等离子体室温生长
鹏勋 闫、熙琛 陈、兵 李、思泽 杨
1995Chinese Science Bulletin (Chinese Version)Engineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
鹏勋 闫, 熙琛 陈, 兵 李, 等. 立方氮化硼薄膜的脉冲等离子体室温生长[J]. Chinese Science Bulletin (Chinese Version), 1995.
DOI：https://doi.org/10.1360/csb1995-40-5-414
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