脉冲激光沉积大面积高温超导氧化物薄膜
摘要
高温超导体在各领域的应用越来越受到人们的重视,特别是在微电子学、微波器件和磁测量等方面比如延迟线、滤波器、超导天线、超导量子干涉仪(SQUID)已进入实用化阶段.制作这些器件不仅要求超导体为大面积的薄膜,而且要求膜的厚度以及超导特性(零电阻温度,临界电流密度,表面电阻等)具有很好的均匀性.虽然目前制备高T_c氧化物薄膜的方法很多,脉冲激光沉积(pulsed laser deposition)、磁控溅射(magnetron-spuffering),金属有机化学气
引用本文（GB/T 7714）
世发 许. 脉冲激光沉积大面积高温超导氧化物薄膜[J]. Chinese Science Bulletin (Chinese Version), 1994.
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