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相位光栅非对称性对位置测量精度的影响
杨光华 Yang Guanghua、王宇 Wang Yu、李璟 Li Jing、丁敏侠 Ding Minxia、卢增雄 Lu Zengxiong
2021Acta Optica SinicaEngineering被引 4
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引用本文（GB/T 7714）
杨光华 Yang Guanghua, 王宇 Wang Yu, 李璟 Li Jing, 等. 相位光栅非对称性对位置测量精度的影响[J]. Acta Optica Sinica, 2021.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202141.1905001
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