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正交光栅相移轮廓术的相位误差分析及其校正
李付谦 Li Fuqian、陈文静 Chen Wenjing
2021Acta Optica SinicaEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
李付谦 Li Fuqian, 陈文静 Chen Wenjing. 正交光栅相移轮廓术的相位误差分析及其校正[J]. Acta Optica Sinica, 2021.
DOI：https://doi.org/10.3788/aos202141.1412002
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