溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究
摘要
摘要 在制备薄膜的过程中,利用光谱分析的方法,以放电光谱特征谱线强度的变化来反映相应物质成分的变化,以连续光谱光源发出的光透射过薄膜的透射率的变化,来反映薄膜的厚度、折射率、吸收系数等光学参数的变化,从而达到在制膜过程中,对薄膜的成分、厚度等参数进行在线监控的目的. Abstract 作者及机构信息 刘隆鉴2, 沈杰1, 章壮健1 (1)复旦大学材料科学系,上海200433; (2)四川工业学院物理实验中心,成都610039 Authors and contacts (1)复旦大学材料科学系,上海200433; (2)四川工业学院物理实验中心,成都610039 参考文献 施引文献
引用本文（GB/T 7714）
刘隆鉴,沈杰,章壮健. 溅射制备薄膜过程中的光谱在线测量研究[J]. Acta Physica Sinica, 2000.
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