首页 / 资料库 / 文献详情
シリコン気相成長層中の不純物濃度分布
阿部 敏雄、西 義雄、佐藤 幹郎、大井 昇
1967Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri KagakuEngineering被引 2开放获取
摘要
该文献暂无收录摘要。
引用本文（GB/T 7714）
阿部 敏雄, 西 義雄, 佐藤 幹郎, 等. シリコン気相成長層中の不純物濃度分布[J]. Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku, 1967.
DOI：https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.35.142
本站仅收录题录与摘要供学习参考，全文版权归属出版方；如有侵权请联系我们删除。