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金属酸化物半導体への酸素の吸脱着と電導性

三浦 則雄中川 修山添 曻清山 哲郎

1981Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri KagakuEngineering被引 1开放获取

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引用本文(GB/T 7714)

三浦 則雄, 中川 修, 山添 曻, 等. 金属酸化物半導体への酸素の吸脱着と電導性[J]. Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku, 1981.

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DOI:https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.49.367

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