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高エネルギーイオン打ち込み技術の動向
徳山 巍
1988Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri KagakuEngineering被引 1开放获取
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引用本文（GB/T 7714）
徳山 巍. 高エネルギーイオン打ち込み技術の動向[J]. Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku, 1988.
DOI：https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.56.548
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