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利用后通硅烷法优化高速微晶硅薄膜的纵向结构
晓丹 张、长春 魏、颖 赵、杨 李、盛之 许
2010Zhongguo kexue. Wulixue Lixue TianwenxueEngineering被引 1
摘要
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引用本文（GB/T 7714）
晓丹 张, 长春 魏, 颖 赵, 等. 利用后通硅烷法优化高速微晶硅薄膜的纵向结构[J]. Zhongguo kexue. Wulixue Lixue Tianwenxue, 2010.
DOI：https://doi.org/10.1360/2010-40-12-1487
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