实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响

WU GUANG-MING、WANG YU、SHEN JUN、YANG TIAN-HE、ZHANG QING-YUAN、ZHOU BIN、DENG ZHONG-SHENG、FAN BIN

2001Acta Physica SinicaMaterials Science被引 1开放获取

摘要

摘要 Abstract 作者及机构信息吴广明1, 王珏1, 沈军1, 杨天河1, 张勤远1, 周斌1, 邓忠生1, 范滨2, 周东平2, 张凤山2 (1)同济大学波耳固体物理研究所,上海200092; (2)中国科学院上海技术物理研究所,上海200083 Authors and contacts WU GUANG-MING1, WANG YU1, SHEN JUN1, YANG TIAN-HE1, ZHANG QING-YUAN1, ZHOU BIN1, DENG ZHONG-SHENG1, FAN BIN2, ZHOU DONG-PING2, ZHANG FENG-SHAN2 (1)同济大学波耳固体物理研究所,上海200092; (2)中国科学院上海技术物理研究所,上海200083 参考文献施引文献

引用本文（GB/T 7714）

WU GUANG-MING, WANG YU, SHEN JUN, 等. 实验条件对纳米多孔SiO2薄膜结构及特性的影响[J]. Acta Physica Sinica, 2001.

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DOI：https://doi.org/10.7498/aps.50.175

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