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基于边缘光抑制技术的双光束激光直写纳米光刻系统
周国尊 Zhou Guozun、何敏菲 He Minfei、杨臻垚 Yang Zhenyao、曹春 Cao Chun、谢飞 Xie Fei、曹耀宇 Cao Yaoyu、匡翠方 Kuang Cuifang、刘旭 Liu Xu
2022Chinese Journal of LasersEngineering被引 4
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引用本文（GB/T 7714）
周国尊 Zhou Guozun, 何敏菲 He Minfei, 杨臻垚 Yang Zhenyao, 等. 基于边缘光抑制技术的双光束激光直写纳米光刻系统[J]. Chinese Journal of Lasers, 2022.
DOI：https://doi.org/10.3788/cjl202249.0202001
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