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超精密加工機械の高精度化の研究 : 第2報 : リニアモータ駆動方式有限形V-Vころがり案内の検討

克敏 田中将彦 福田勝治 覚張清 鈴木哲太郎 植松

2007Medical Entomology and ZoologyEngineering被引 1

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引用本文(GB/T 7714)

克敏 田中, 将彦 福田, 勝治 覚張, 等. 超精密加工機械の高精度化の研究 : 第2報 : リニアモータ駆動方式有限形V-Vころがり案内の検討[J]. Medical Entomology and Zoology, 2007.

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