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基于发射光谱的微波等离子化学气相沉积中的电子温度诊断
陈驰 CHEN Chi、张朝阳 ZHANG Chaoyang、傅文杰 FU Wenjie、鲁钝 LU Dun、黄同兴 HUANG Tongxing、鄢扬 YAN Yang
2021ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 2
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引用本文（GB/T 7714）
陈驰 CHEN Chi, 张朝阳 ZHANG Chaoyang, 傅文杰 FU Wenjie, 等. 基于发射光谱的微波等离子化学气相沉积中的电子温度诊断[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2021.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20215009.0930001
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