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用于精密位移测量的微型光栅传感器开发
魏正杰 WEI Zhengjie、张迪 ZHANG Di、吴冠豪 WU Guanhao
2021ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 3
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引用本文（GB/T 7714）
魏正杰 WEI Zhengjie, 张迪 ZHANG Di, 吴冠豪 WU Guanhao. 用于精密位移测量的微型光栅传感器开发[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2021.
DOI：https://doi.org/10.3788/gzxb20215009.0912001
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