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基于数字全息的玻璃微加工形貌测量

李伟霞 LI Weixia黄素娟 HUANG Sujuan闫成 YAN Cheng

2021ACTA PHOTONICA SINICAEngineering被引 1

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引用本文(GB/T 7714)

李伟霞 LI Weixia, 黄素娟 HUANG Sujuan, 闫成 YAN Cheng. 基于数字全息的玻璃微加工形貌测量[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2021.

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DOI:https://doi.org/10.3788/gzxb20215009.0912003

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