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8~12nm波長領域用のMo/Y多層膜鏡
Claude Montcalm、Brittany. Sullivan、Ranger M、J. Slaughter、Patrick A. Kearney、Christian Falco、M. Chaker
1994Optics LettersEngineering被引 10
摘要
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引用本文（GB/T 7714）
Claude Montcalm, Brittany. Sullivan, Ranger M, 等. 8~12nm波長領域用のMo/Y多層膜鏡[J]. Optics Letters, 1994.
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