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A New Approach to Cleave MEMS Devices from Silicon Substrates
Mehdi Mehdi、Rezaei、Jonathan Jonathan、Lueke、Dan Dan、Sameoto、Don、Raboud
2013机械工程与自动化：英文版Engineering被引 1
摘要
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引用本文（GB/T 7714）
Mehdi Mehdi, Rezaei, Jonathan Jonathan, 等. A New Approach to Cleave MEMS Devices from Silicon Substrates[J]. 机械工程与自动化：英文版, 2013.
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