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Fabrication of High Aspect Ratio Sub-100 nm Patterns in Fused Silica
Zajadacz、Fechner、Zimmer
2012材料科学与工程：中英文A版Materials Science被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
Zajadacz, Fechner, Zimmer. Fabrication of High Aspect Ratio Sub-100 nm Patterns in Fused Silica[J]. 材料科学与工程：中英文A版, 2012.
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