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Simulation to Predict Target Erosion of Planar DC Magnetron
邱清泉、励庆孚、苏静静、焦余、Finley、Jim Jim
2008Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 1
摘要
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引用本文（GB/T 7714）
邱清泉, 励庆孚, 苏静静, 等. Simulation to Predict Target Erosion of Planar DC Magnetron[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2008.
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