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Yb~+注入Si(100)所引起的晶格损伤和快速热退火后Yb的再分布及光激活规律研究

岱青 李

1994Chinese Science Bulletin (Chinese Version)Engineering被引 6开放获取

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引用本文（GB/T 7714）

岱青 李. Yb~+注入Si(100)所引起的晶格损伤和快速热退火后Yb的再分布及光激活规律研究[J]. Chinese Science Bulletin (Chinese Version), 1994.

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DOI：https://doi.org/10.1360/csb1994-39-18-1659

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