Optimization of Polishing Parameters with Taguchi Method for LBO Crystal in CMP

Jun Jun、Li、Yongwei、Zhu -、Dunwen、Zuo、Yong、Chuangtian

2009Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 3

摘要

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引用本文（GB/T 7714）

Jun Jun, Li, Yongwei, 等. Optimization of Polishing Parameters with Taguchi Method for LBO Crystal in CMP[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2009.

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