镶嵌在SiO<sub>2</sub>薄膜中的纳米InSb颗粒的制备
摘要
用射频磁控测射的方法制备了镶嵌在SiO<sub>2</sub> 薄膜中的纳米InSb颗粒 .透射电子显微镜观察表明 ,纳米InSb颗粒均匀地镶嵌在SiO<sub>2</sub> 介质中 .通过控制热处理的条件 ,可以得到具有不同颗粒尺寸的InSb纳米颗粒 .InSb颗粒的尺寸与热处理温度和时间成正比 ,但是并不满足<italic>t</italic><sup>1/3</sup> 的关系.另外,还通过X射线衍射以及X射线光电子能谱对InSb SiO<sub>2</sub>复合薄膜的结构和成分进行了分析
引用本文（GB/T 7714）
立德 张, 建中 石, 彦峰 魏, 等. 镶嵌在SiO&lt;sub&gt;2&lt;/sub&gt;薄膜中的纳米InSb颗粒的制备[J]. Chinese Science Bulletin (Chinese Version), 1998.
引文网络
本站仅收录题录与摘要供学习参考，全文版权归属出版方；如有侵权请联系我们删除。