First-principles investigation on initial stage of 2H-SiC（001） surface oxidation

Wang、Junjie、Zhang、LiTong、Zeng、Qingfeng、Vignoles、Gerard

2009中国科学通报：英文版Engineering被引 5

摘要

成核的吸附和散开。吸附地点，相应于为孤立的广告原子的势能表面(足) 的本地最小，在不同地点通过广告原子绑定精力的比较研究被识别。我们发现桥(siloxane ) 地点被喜欢甚于另外的吸附地点。在为进这个地点的氧插入的 0K 没有精力障碍。当在二个吸附地点之间跳时，广告原子不得不克服的散开精力障碍是计算的。硅石成核的前提被由于和附近的广告原子的相互作用计算氧原子绑定精力的修正调查。

引用本文（GB/T 7714）

Wang, Junjie, Zhang, 等. First-principles investigation on initial stage of 2H-SiC（001） surface oxidation[J]. 中国科学通报：英文版, 2009.

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