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Effects of Atomic Oxygen Irradiation on Transparent Conductive Oxide Thin Films

Wang、Wenwen、Tianmin

2007Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniMaterials Science被引 1

摘要

透明传导性的氧化物(TCO ) 薄电影是在在太空船抵抗系统的太阳能电池和原子氧(AO ) 有潜在的应用的一种功能的材料。TCO， ZnO : 艾尔(ZAO ) 和 In2O3 : Sn (ITO ) 薄电影广泛地被使用了并且调查。在这研究， ZAO 和 ITO，薄电影被 AO 与 fluence 的不同数量照耀。同样扔的样品和照耀的被 X 光检查衍射(XRD ) 描绘，扫描电子显微镜学(SEM ) 和调查 AO 照耀的 fluence 的数量上的结构，形态学和 ZAO 或 ITO 的电的性质的依赖的大厅效果测量。没有明显的影响， AO 在它的结构和传导性的性质之上在 ZAO 的表面上有侵蚀效果，这被注意。而且作为 AO fluence 上升的数量， ITO 的搬运人集中减少引起抵抗力增加由至多 21.7% 。

引用本文（GB/T 7714）