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Thermal Oxidation of Silicon Carbide Substrates
Xiufang、Chen、Ning、Yingmin、W Wang、Juan、Li、Xiangang
2009Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
Xiufang, Chen, Ning, 等. Thermal Oxidation of Silicon Carbide Substrates[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2009.
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