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Towards the controlled CVD growth of graphitic B-C-N atomic layer films: The key role of B-C delivery molecular precursor

Yang HaoWangChongZhao ZhaoLei LeiLiuZhiXu

2016纳米研究:英文版Engineering被引 1

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摘要

反应物联合能由调整二气体的反应物的相对部分压力提供 tunability 的高水平和 B-C-N 原子层的全面化学作文的控制。有限精力差距能在成长得当的 B-C-N 原子层和它的 tunability 被打开的电的运输大小表演实质上依赖于到 BN 原子作文的相对 C。根据小心地控制的实验,我们证明在 TMB 分子的先锋的先存在的 B-C 契约在有效地减少 C 和 BN 阶段分离问题起了一个关键作用,从而便于真正第三的 B-C-N 的形成分阶段执行原子层。

引用本文(GB/T 7714)

Yang Hao, Wang, Chong, 等. Towards the controlled CVD growth of graphitic B-C-N atomic layer films: The key role of B-C delivery molecular precursor[J]. 纳米研究:英文版, 2016.

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