微波输入功率引起a-C∶F薄膜交联结构的增强

Huang Song、Xin Yu、Zhaoyuan Ning、Cheng Shan-Hua、Xinhua Lu、(1)苏州大学分析测试中心,苏州215006; (2)苏州大学物理系,苏州215006;

2002Acta Physica SinicaEngineering被引 2开放获取

摘要

使用C2H2和CHF3的混合气体,在改变微波功率的条件下,利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积方法制备了氟化非晶碳薄膜(aC∶F).薄膜的傅里叶变换红外光谱分析结果表明:薄膜中的CC与C—F键含量的比值随功率的增加而相应地增大;借助于紫外可见光谱分析发现,薄膜的光学带隙随功率的增大而减小.由此推断微波输入功率的提高有助于增强薄膜的交联结构.aC∶F薄膜的交流电导与x射线光电子能谱进一步证实了这种增强效应

引用本文（GB/T 7714）

Huang Song, Xin Yu, Zhaoyuan Ning, 等. 微波输入功率引起a-C∶F薄膜交联结构的增强[J]. Acta Physica Sinica, 2002.

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DOI：https://doi.org/10.7498/aps.51.2635

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