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镁离子内扩散铌酸锂研究(Ⅱ)—— X射线衍射和扫描电子显微镜表征

Qui Wen-XiuYao Xi西安交通大学电子材料研究室,西安710049

1995Acta Physica SinicaEngineering被引 1开放获取

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摘要

摘要 对不同扩散条件的铌酸锂单晶基片进行了X射线衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜观察(SEM)。结果表明,在扩散表面富镁层出现一新相结构,可能是由Li-Mg-Nb-O组成的三元系相结构,这一新相被认为是镁离子内扩散的真正扩散源。并对晶格发生畸变、镁离子内扩散机理以及镁的扩散层折射率变化机理进行了分析和讨论。 Abstract 作者及机构信息 阙文修, 姚熹 1. 西安交通大学电子材料研究室,西安710049 基金项目: 西安交通大学精细功能电子材料与器件开放研究实验室基金资助的课题 Authors and contacts Qui Wen-Xiu, Yao Xi 1. 西安交通大学电子材料研究室,西安710049 参考文献 施引文献

引用本文(GB/T 7714)

Qui Wen-Xiu, Yao Xi, 西安交通大学电子材料研究室,西安710049. 镁离子内扩散铌酸锂研究(Ⅱ)—— X射线衍射和扫描电子显微镜表征[J]. Acta Physica Sinica, 1995.

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DOI:https://doi.org/10.7498/aps.44.614

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