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Mechanical strength of silicon wafers
Osamu Fujii、Noriyasu Kawamura、Takashi Kawakami、Satoshi IZUMI
1997應用物理Engineering被引 1
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引用本文（GB/T 7714）
Osamu Fujii, Noriyasu Kawamura, Takashi Kawakami, 等. Mechanical strength of silicon wafers[J]. 應用物理, 1997.
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