Surface Acoustic Wave Humidity Sensors Based on （1120） ZnO Piezoelectric Films Sputtered on R-Sapphire Substrates

2015Acta Scientiarum Naturalium Universitatis SunyatseniEngineering被引 2

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引用本文（GB/T 7714）

WANG Yan, 张淑仪, 范理, 等. Surface Acoustic Wave Humidity Sensors Based on （1120） ZnO Piezoelectric Films Sputtered on R-Sapphire Substrates[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni, 2015.

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