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H 2 /CH 4 流量比对含氢DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响

吴金龙

2015Engineering被引 1

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引用本文（GB/T 7714）

吴金龙. H 2 /CH 4 流量比对含氢DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响[J]. 未知来源, 2015.

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DOI：https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.007

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